一、本文分析了导致电铸<)来提高电铸层的材料性能。
十五、在给定的电铸液组分和工艺路线下,运用交流阻抗法研究了微电铸镍结构的电极过程动力学特性。
十六、本文主要阐述了LIGA技术的工艺过程,包括X射线深层光刻、微电铸和微复制工艺.